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硅中硼离子注入的带电缺陷动力学模拟

用户:xiangxiang 2021-08-02上传 侵权/申诉

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硅中硼离子注入的带电缺陷动力学模拟
动力学,离子,缺陷,动力
《计算物理》杂志 2021年第3期
《计算物理》2021年第3期文献
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